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日本ULVAC愛發(fā)科頻射電源

簡要描述:
日本ULVAC愛發(fā)科頻射電源
RMG-1303 是一款 13.56MHz、300W 射頻電源,內(nèi)置輸出匹配器,適用于射頻濺射和等離子 CVD 蝕刻等等離子體工藝。匹配器和射頻電源的集成使其更小、更輕。它可以從低輸出進(jìn)行控制,并且可以用于廣泛的領(lǐng)域,從研發(fā)應(yīng)用到批量生產(chǎn)設(shè)備。

更新時間:2025-06-27

訪問量:21

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

型號:RMG-1303

品牌ULVAC/日本愛發(fā)科供貨周期現(xiàn)貨
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科頻射電源

日本ULVAC愛發(fā)科頻射電源


特征

功率低至 1W 即可控制

標(biāo)配 500Hz~100kHz 脈沖射頻輸出功能 能夠以低輸出功率進(jìn)行控制

標(biāo)配外部同步引腳

單相 100V~220V / 50Hz~60Hz 輸入范圍廣

200mm×200mm×350mm/10kg,小巧輕便的電源

CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS

規(guī)格

RMG-1303 系列
電源功能部分輸入電壓單相 AC100-220V
輸入容量700VA 以下
頻率13.56兆赫±0.01%
Forword 力量300W (50Ω 負(fù)載時)
匹配函數(shù)部分額定功率300 瓦
額定電流10 臂
額定電壓2500Vpp/-2500Vdc(標(biāo)準(zhǔn)) *1
輸出電極/選項2-M4(標(biāo)準(zhǔn))/N,HN,DIN7/16 *2
公共部分冷卻方式強制風(fēng)冷
尺寸尺寸
(W×D×H) 不包含
突起項
200×350×200(毫米)
重量約 10 公斤
標(biāo)準(zhǔn)CE、KC、SEMI F47、SEMI S2、RoHS(歐洲)
*1 額定電壓可作為選項進(jìn)行更改。
*2 可以選擇更改為連接器輸出類型。


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